-Gia công quang học siêu chính xác: Nền tảng chính xác của ngành sản xuất cao cấp-

Gia công quang học siêu chính xác-là công nghệ sản xuất cốt lõi dành cho các thành phần quang học-cao cấp (chẳng hạn như thấu kính in thạch bản, cửa sổ phát hiện tia hồng ngoại và bộ cộng hưởng laze). Ưu điểm chính của nó nằm ở việc đạt được hình dạng và độ chính xác về vị trí và độ chính xác ở cấp độ-dưới micromet (0,1–1μm) đến nanomet-(0,01–0,1μm) cũng như chất lượng bề mặt -. Mức độ chính xác này tương đương với một phần mười{10}}đường kính của một sợi tóc người, vượt xa giới hạn của gia công cơ học truyền thống.

Trong các ứng dụng thực tế, công nghệ này hỗ trợ rộng rãi cho ba lĩnh vực{0}}cao cấp chính:

Sản xuất chất bán dẫn: Các thấu kính quang học lõi của thiết bị in thạch bản phải đạt được độ chính xác về hình dạng bề mặt ở cấp độ nanomet{0}}, yếu tố quyết định trực tiếp đến việc hiện thực hóa các quy trình chip (chẳng hạn như công nghệ 7nm và 5nm);

Hàng không vũ trụ: Các thành phần quang học của hệ thống dẫn đường hồng ngoại và thấu kính viễn thám vệ tinh cần duy trì độ chính xác trong môi trường khắc nghiệt, dựa vào-gia công siêu chính xác để đảm bảo chất lượng hình ảnh;

Chăm sóc y tế-cao cấp: Các thành phần quang học của thiết bị phẫu thuật laze và kính hiển vi có độ phân giải-cao yêu cầu gia công ở cấp độ vi mô-để giảm độ méo quang học và cải thiện độ chính xác của chẩn đoán và điều trị.

Bước đột phá của gia công quang học có độ chính xác cực cao-về cơ bản giải quyết được nút thắt cốt lõi của "từ thiết kế đến sản xuất hàng loạt các bộ phận quang học-cao cấp" và là hỗ trợ kỹ thuật quan trọng để thúc đẩy nâng cấp nền sản xuất-cao cấp lên "độ chính xác tối đa".

II. Kiểm soát nhiệt độ: Tiền đề cốt lõi để duy trì hiệu suất cực kỳ chính xác-

Gia công có độ chính xác cực cao-rất nhạy cảm với nhiệt độ của môi trường và thiết bị, đồng thời độ ổn định chính xác của nó hoàn toàn phụ thuộc vào độ tin cậy của việc kiểm soát nhiệt độ:

Nguồn lỗi: Mặc dù hệ số giãn nở nhiệt của vật liệu quang học (chẳng hạn như thạch anh, saphia và tinh thể hồng ngoại) thấp, nhưng trong quá trình gia công, đánh bóng hoặc kiểm tra, sự dao động nhiệt độ chỉ ±0,1 độ sẽ gây ra sự giãn nở và co lại nhiệt của vật liệu, trực tiếp dẫn đến sai số về hình dạng và vị trí ở cấp độ- nanomet và bù đắp độ chính xác gia công;

-Yêu cầu toàn bộ quy trình: Từ cắt phôi, mài chính xác, đánh bóng cơ học hóa học (CMP) đến kiểm tra độ chính xác cuối cùng, mỗi liên kết cần duy trì nhiệt độ không đổi - hoạt động của động cơ của thiết bị xử lý, ma sát của chất lỏng đánh bóng và sự sinh nhiệt của các linh kiện điện tử của dụng cụ kiểm tra đều sẽ phá hủy sự cân bằng nhiệt độ;

Hiệu ứng dây chuyền: Nhiệt độ không ổn định không chỉ dẫn đến tỷ lệ chất lượng sản phẩm giảm mạnh (đối với-các thành phần quang học cao cấp, cứ tăng 1% tỷ lệ chất lượng có thể giảm chi phí từ 15%–20%), mà còn làm tăng tốc độ hao mòn thiết bị và rút ngắn tuổi thọ sử dụng của các bộ phận cốt lõi (chẳng hạn như trục xoay chính xác và đầu mài).

III. Máy làm lạnh nước: Giải pháp làm mát lõi cho gia công quang học siêu chính xác-

Là "người quản lý nhiệt độ" của quá trình sản xuất có độ chính xác-siêu chính xác, máy làm lạnh nước cung cấp môi trường nhiệt độ ổn định và liên tục cho toàn bộ quá trình gia công, đánh bóng và kiểm tra thông qua công nghệ kiểm soát nhiệt độ chính xác. Vai trò chính của nó được phản ánh trong các khía cạnh sau:

Khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác: Nó có thể đạt được độ chính xác kiểm soát nhiệt độ không đổi ± 0,1 độ với tốc độ phản hồi nhanh, thích ứng với nhu cầu tản nhiệt của các thiết bị khác nhau;

Tản nhiệt-hiệu quả cao: Phù hợp với yêu cầu tải nhiệt của thiết bị xử lý công suất-cao, giúp duy trì độ chính xác của trục xoay, bộ phận quang học và các bộ phận kết cấu;

Kéo dài tuổi thọ sử dụng của thiết bị: Kiểm soát nhiệt độ ổn định có thể kéo dài tuổi thọ của-trục xoay và đầu mài có độ chính xác cực cao, giảm chi phí thay thế các bộ phận cốt lõi;

Được trang bị thiết kế chống-ăn mòn và chống{1}}đóng cặn: Nó tránh tắc nghẽn mạch làm mát hoặc ăn mòn thiết bị và kéo dài chu kỳ bảo trì hệ thống.

Bản tóm tắt

Trong số nhiều công nghệ làm mát khác nhau dành cho gia công quang học có độ chính xác siêu-, máy làm lạnh nước, dựa vào hiệu suất trao đổi nhiệt độc đáo và độ ổn định kiểm soát nhiệt độ, đã trở thành giải pháp được ưu tiên cho các thiết bị có công suất-trung bình và cao cũng như các kịch bản gia công có độ chính xác-cao.

Chúng không chỉ giải quyết mâu thuẫn cốt lõi giữa "tuân thủ độ chính xác" và "sản xuất hàng loạt" các thành phần quang học cao cấp-mà còn thúc đẩy nâng cấp các ngành chiến lược như chất bán dẫn, hàng không vũ trụ và chăm sóc y tế theo hướng “độ chính xác cao hơn, chi phí thấp hơn và năng lực sản xuất ổn định hơn”, đóng vai trò như một sự đảm bảo gấp ba lần về “độ chính xác, tính ổn định và hiệu quả” trong lĩnh vực sản xuất-cao cấp.